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红光滤色荧光显微镜-晶圆硅氧化层厚度检测

标签:红光,荧光,显微,显微镜,氧化,厚度,检测  2021/6/11 11:12:38  预览

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红光滤色荧光显微镜-晶圆硅氧化层厚度检测

红光滤色荧光显微镜在硅片上超薄硅层厚度测量的应用,适用范围10μm~1000μm,具有方便、直观的特点。该设备采用光学滤波的原理,经腐蚀seo关键词优化,通过红外滤光片表现出干涉条纹,通过处理后得到诟谇相间的图片结果。

腐蚀后硅片表面结果图

通俗光学荧光显微镜成像结果

红光荧光显微镜成像结果

经处理后得到的成像图片

测量效果

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